一、CPU板:CPU板其功能可以認為是一張簡化的電腦,和其它基板的I/F通過CPCI插口.接口橋基板,VME接口進行連接!
二、XMP基板:XMP基板和RMB(JGRMB基板和JHRMB基板)一起動作,是伺服馬達和步進馬達的控制基板.
  XMP基板最多可以控制19軸的馬達！
  (1)從RMB基板輸出16BIT的串行指今信號.控制XY軸ZQ軸的AC伺服馬達.
    XY軸:用馬達的旋轉變換器控制速度.計數電磁標尺控制定位.
    zQ軸:用馬達的旋轉變換器控制位置
  (2)從RMB基板輸出脈沖指令.控制中心馬達.后備馬達.自動寬度調馬達的步進馬達.
  (3)檢測緊急開關的開放.既時停止XY軸.ZQ軸.
  (4)進行各軸原點和限制傳感器的檢測！
 (5)伺服啟動，電磁標尺的警報檢測！
  (6)安裝有XY軸。ZQ軸以及后備馬達R軸的位置管理用計數器。
三、SYNONET連接基板。
  SYNONET連接基板是JGRMB基板。SAFETY基板。CARRY連接基板以及各馬達嫗動器。電磁標尺。限制傳感器間的信號連接基板。
  （1）中轉ZY4軸嫗動器和XMP基板的信號。其中警報信號由被絕緣處理的圖象探頭向SAFETY基板輸出。
  （2）中轉電磁標尺和XMP基板的信號。
  （3）XY軸的限制信號賂JGRMB基板和SAFETY基板輸出。
   （4）中轉中心馬達。后備馬達。自動寬度調整馬達的嫗動器和XMP基板的信號（經CARRY中轉基板）
四、接口橋基板。
    接口橋基板與CPCI接口和VME接口連接。是從CPCI向VME存取的基板。
    CPCI接口連接的基板：CPU基板。XMP基板。
      VME接口連接的基板：SAFETY，LIGHTCTRL，base-FEEDER，I/O CTRL，IP-X3，MCM（L），MCM（R）基板。
  五、MCM基板
  本基板是元件中心用傳感器（MNLA或FMLA）的控制和演算基板。
  （1）說明嘛。略了吧。這個不難。不懂到我QQ：151255653上聊聊吧！
  六、SAFETY基板。
  （1）檢測緊急開關，限制傳感器，X-SLOW傳感器，遮斷伺服電源。
  （2）檢測護罩開關，X-SLO傳感器，通知XMP基板。
  （3）通過CARRY中轉基板的I/F電路，進行基板傳送傳感器，電磁閥，ATC傳感器，電磁閥的信號作業。
  （4）安裝SMEMA I/F電路。
  （5）保存M/S參數的FLASHROM。
  七、CARRY基板。
  本基板主要是中轉傳感器的信號。
 八、base-FEEDER 基板。
  此基板裝務有供料器推進，溫度傳感器和真空傳送，信號燈的控制，MTC I/F等功能。
  LED1：CPU正常工作。
    2：CPU為HALT。
    3：系統為FAIL。
    故障時2，3 亮燈。
九、I/O基板
  傳送16BIT長的串行數據。
  各裝置基板的控制I/O控制基板的CPU：68000   12MHZ來進行。（頭部主基板除外）
  LDE1：FAIL
        2：HALT
        3：正常動作。
十、貼裝頭主基板
    貼裝頭主基板通過傳送串行I/F與主控電腦進行通信，是控制貼頭部的I/O基板。
    （1）真空和流動用電磁閥的嫗動。
    （2）讀取真空傳感受器檢測的真空數據。
    （3）讀取壞標記傳達室感受器的ON/OFF和斷定結果。（選購品）
    （4）檢測z軸的減速傳感器。
 十一、操作基板
    安裝各開關：起動，SOTP等。
    向SAFETY基板通知護罩開關開放狀態。伺服開關，緊急開關狀態。
    進行HOD信號中轉。
 十二、LIGHT CTRL基板
    此基板進行底座上的VCS裝置的各種照明和貼裝頭的OCC照明的亮燈和光亮調節，標準VCS攝像機和選購品高分辨率攝像機的嫗動照明變換氣缸。
十三、IP-X3基板
  本基板是處理OCC。VCS攝像機拍攝的基板標記。IC標記。IC芯片等圖像數據，計算基板的位置修正，零件位置修正要的數值的圖像基板。