深圳市和西微電子設(shè)備有限公司是繼和西電子設(shè)備有限公司之后成立的又一家設(shè)備公司,專業(yè)設(shè)計,生產(chǎn)及經(jīng)營太陽能光伏設(shè)備,包括有PECVD,擴散爐,高溫爐,清洗設(shè)備等。2007年公司開始進入太陽能設(shè)備領(lǐng)域,相繼開發(fā)出了PECVD,擴散爐,各種清洗植絨設(shè)備,高溫燒結(jié)爐等產(chǎn)品。公司把在成套電子設(shè)備上的成熟,領(lǐng)先技術(shù)用于光伏太電能電池行業(yè),旨在為全球光伏太陽能產(chǎn)業(yè)做出自己的貢獻。和西微電子設(shè)備有限公司,
技術(shù)力量雄厚,匯聚各類技術(shù)人員,具有自主研發(fā),設(shè)計和生產(chǎn)各種產(chǎn)品的能力。
高溫烘干燒結(jié)一體爐
設(shè)備型號:SF-2000
設(shè)備主要特點
采用特殊網(wǎng)帶傳送方式,傳送非常平穩(wěn)。
Windows操作系統(tǒng),中英文在線隨意切換,集成控制全機系統(tǒng),具備故障顯示功能,可將生產(chǎn)參數(shù)完全儲存。且便于分析。
西門子PLC+PC控制整機,穩(wěn)定可靠,曲線重復精度高,避免了電腦的死機造成產(chǎn)品的損失。
低耗電量,更加節(jié)約使用成本。
完整的報警系統(tǒng),故障問題可在電腦界面清楚顯示。
PECVD等離子化學氣相淀積設(shè)備
設(shè)備型號:PE-310
設(shè)備主要特點:(用于制作太陽能電池片)
緊湊型設(shè)計:標準單臺三管(二管,四管可選),減少占地面積。
各種氣體精確控制流量:數(shù)字式MFC的運用,比模擬式的控制精度提高,還消除了模擬傳輸?shù)母蓴_。保證工藝生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
系統(tǒng)控制:全進口零部件,自動壓力閉環(huán)調(diào)節(jié)系統(tǒng),精確控制反應室內(nèi)真空環(huán)境。
高頻電源:進口高頻電源穩(wěn)定可靠。
送片方式:高定位精度和穩(wěn)定的軟著陸裝置。采用伺服馬達驅(qū)動滾軸絲桿,運行平穩(wěn)可靠,無爬行。推舟速度在5-1000mm/min內(nèi)無級變化。
封門系統(tǒng):密封的爐門設(shè)計,有效減少爐內(nèi)熱量的損失,并減少了溫度恢復時間。與裝載區(qū)隔離,保證裝載區(qū)無污染,避免操作人員受有毒氣體的損害。
管路:工藝管路采用進口閥門管件組成--氣密性好,耐腐蝕,無污染(管路均采用PE級電拋光管路)。
自動裝載機械手(可選)。
太陽能電池片擴散爐
設(shè)備型號:KS-420
設(shè)備主要特點:
緊湊型設(shè)計
標準單臺四管(三管可選),減少占地面積。
閉管磷擴散
工藝反應過程中,工藝片在石英管內(nèi),Sic槳外置,實現(xiàn)真正意義上的閉管擴散。
各種氣體精確控制流量
數(shù)字式MFC的運用,比模擬式的控制精度提高,還消除了模擬傳輸?shù)母蓴_。保證工藝生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
廢氣收集系統(tǒng)
帶有廢氣定向回收冷卻裝置,收集后統(tǒng)一從后部排出。
氣體噴淋擴散工藝
POCl3 ,可采用管內(nèi)噴淋式引入到各反應區(qū)域,有效提高擴散的均勻性。
送片方式
高定位精度和穩(wěn)定的軟著陸裝置。采用伺服馬達驅(qū)動滾軸絲桿,運行平穩(wěn)可靠,無爬行。推舟速度在5-1000mm/min內(nèi)無級變化。
封門系統(tǒng)
密封的爐門設(shè)計,有效減少爐內(nèi)熱量的損失,并減少了溫度恢復時間。與裝載區(qū)隔離,保證裝載區(qū)無污染,避免操作人員受有毒氣體的損害。
自動壓力平衡裝置
自動閉環(huán)壓力控制。實現(xiàn)壓力平衡自動處理。